EV-M 型 干式真空泵是節(jié)能、高負荷工藝的理想選擇 能夠在重負荷下進行處理 兼容高溫控制 節(jié)能 采用耐腐蝕材料標準 耐腐蝕性增強選項 在不同頻率下具有相同的性能 （50/60 Hz） 油 提供 CE 標志/SEMI-S2/NRTL

荏原 （EBARA） 高溫技術支持高負荷工藝，在半導體、液晶和太陽能電池的制造過程中會產生反應副產物。 由于其高節(jié)能性能，可以處理高負載過程并同時節(jié)省能源。 標配耐腐蝕材料，還提供排量為 110,000 L/min 的大排量型號。 憑借根據工藝條件的豐富產品陣容，可以處理各種高負荷工藝。