# 2024年新品發(fā)布會(huì)#

日期：2024年9月29日

時(shí)間：8：30-18：30

近期我司新推出升級(jí)了SHASHIN寫(xiě)真化學(xué)成像圖層膜厚儀

這是一種可以通過(guò)顯微圖像光譜可視化透明多層膜的膜厚分布的膜厚計(jì)。

由于薄膜厚度是通過(guò)光學(xué)干涉法計(jì)算的，因此

薄膜厚度分布可以以 0.1 nm 或更低的分辨率以 3D 形式顯示。

在顯微鏡視場(chǎng)中測(cè)量任意區(qū)域的薄膜厚度和薄膜質(zhì)量分布

，并以 3D 形式顯示分布

分辨率與可見(jiàn)光波長(zhǎng)光學(xué)涂層測(cè)厚儀相當(dāng)

波長(zhǎng)范圍從 450 nm 到 750 nm，可以 1 nm 的增量

使用與反射膜厚度監(jiān)視器相同的計(jì)算引擎進(jìn)行并行計(jì)算

應(yīng)用實(shí)例

（1） 數(shù)百層重復(fù)層壓薄膜和溝槽等復(fù)合結(jié)構(gòu)

（2） 用 EMA（有效介質(zhì)近似）法估計(jì)亞微米圖案的密度

（3） 局部結(jié)晶度評(píng)估