日本供應(yīng)EBARA荏原EST300WN干式真空泵

產(chǎn)品簡(jiǎn)介
日本供應(yīng)EBARA荏原EST300WN干式真空泵

兼容高溫控制
抽速大
大流量排氣
采用耐腐蝕材料標(biāo)準(zhǔn)
耐腐蝕性增強(qiáng)選項(xiàng)
能夠在重負(fù)荷下進(jìn)行處理
在不同頻率下具有相同的性能（50/60 Hz）
油
提供 CE 標(biāo)志/SEMI-S2/NRTL

產(chǎn)品型號(hào)：進(jìn)口

更新時(shí)間：2025-02-22

廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商

訪問量：41

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產(chǎn)品分類

PRODUCT CLASSIFICATION

EBARA荏原

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日本供應(yīng)EBARA荏原EST300WN干式真空泵

EST 型號(hào)使用螺桿式轉(zhuǎn)子，并配備了高溫功能，可將泵中的氣體保持在高溫下，使其非常適合 CVD 等形成反應(yīng)副產(chǎn)物的應(yīng)用。標(biāo)準(zhǔn)使用耐腐蝕材料，實(shí)現(xiàn)高抽速和高流量泵送，減少停機(jī)時(shí)間并有助于提高工藝效率。

單位	EST10N 系列	EST25N 系列	EST100WN	EST200WN	EST300WN	EST500WN	EST800WN
抽速		升/分鐘	1,000	2,500	10,000	20,000	30,000	50,000	80,000
極限壓力		帕	2.7	0.4	0.4	0.4	0.4	0.4	0.5
連接直徑	進(jìn)氣口		西北 40	西北 40	西北 50	西北 100	西北 100	ISO160 認(rèn)證	ISO200 認(rèn)證
連接直徑	排氣口		西北 40	西北 40	西北 40	西北 40	西北 40	西北 40	西北 40
極限壓力下的近似功率		千瓦	2.3	3	3.2	3.2	4.5	4.6	4.6
冷卻水	流量	升/分鐘	5~8	5~8	5~8	5~8	5~8	5~8	5~8
冷卻水	溫度	°C	最多 30 個(gè)	最多 30 個(gè)	最多 30 個(gè)	最多 30 個(gè)	最多 30 個(gè)	最多 30 個(gè)	最多 30 個(gè)
注 2	流量	帕•m3/秒	13~18	13~18	24~29	24~29	28~31	28~31	28~31
電源相位/電壓/頻率	200V 型號(hào)		三相/200-220V，50/60Hz	三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz	三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz	三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz	三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz	三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz	三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz
電源相位/電壓/頻率	400V 型號(hào)		三相/380-440V，50/60Hz	三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz	三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz	三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz	三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz	三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz	-
電源容量		千伏安	4.6	7.3	8.2	8.5	12.7	15.1	16
近似質(zhì)量		公斤	260	300	380	430	500	550	840